明年初就能用上氟化氢 三星材料危机或暂时解除

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驱动中国2019年8月30日消息 因为日本的贸易制裁，致使三星在三种关键性材料——光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢上受到限制，而现在，随着8月8日对EUV光刻胶材料的解封，第二种关键性材料氟化氢也将从黑名单中被移除出来。

据韩国媒体朝鲜日报、中央日报日文版 30 日报导，韩国产业通商资源部指出，日本已于29日批准向三星出口氟化氢。

据悉，氟化氢是蚀刻和清洗晶圆的关键材料，高纯度的电子级氟化氢在半导体制造工艺中，主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程。

7月1日，日本政府宣布将韩国移除对外贸易白名单，并加强氟化氢、光阻剂和氟化聚酰亚胺三种关键性材料对韩国的出口管制。按照要求，韩国进口日本公司的氟化氢、光阻剂和氟化聚酰亚胺三种原材料，需要提前90天申请。

而之后，日本政府虽然在8月7日、19 日相继发出了2张出口许可，但都面向的是光阻剂，而不是用于芯片生产的关键性材料氟化氢。现在，日本终于就韩国对氟化氢发布出口许可，这也就意味着，明年年初三星就能够用到这种材料了。

这是日本政府自7月4日加强对氟化氢等 3 项半导体材料的出口管制以来，首度允许氟化氢产品出口韩国。据悉，此次获得许可的对象为 Stella Chemifa 制造，出口给三星电子的氟化氢。